7nm光刻机成功了吗

7nm光刻机成功了吗

没有成功。不论国内还是国外目前都没有7nm的光刻机，以最先进的荷兰阿斯麦尔euv光刻机为例，其光源采用的是13.5nm波长的极紫外光，然后利用多重曝光等技术实现7nm及以下工艺制程芯片的制作，所以7nm指的是工艺制程并不是光刻机。

国产目前最高有望实现28nm光刻精度的duv光刻机，离euv还差一代。