单晶硅片生产技术
- 2024-10-25 17:45:13
单晶硅片生产技术
单晶硅生产技术:
1、 石头加工
开始是石头,(石头都含硅),把石头加热,变成液态,在加热变成气态,把气体通过一个密封的大箱了,箱子里有N多的子晶加热,两头用石墨夹住的,气休通过这个箱子,子晶会把气体中的一种吸符到子晶上,子晶慢慢就变粗了,因为是有体变固休,所以很慢,一个月左右,箱子里有就很多长长的原生多品硅。
2、 酸洗
当然, 还有很多的废气啊什么的,(四氯化硅)就是生产过程中产生的吧,好像现在还不能很好处理这东西,废话不多说,原生多晶有了,就开始酸洗,氢气酸啊硝酸啊,乙酸啊什么的把原生多晶外面的东西洗干净了,就过烘房烘干,无尘检查打包。
3、拉晶
送到拉晶,拉晶就是用拉晶炉把多晶硅加热融化,在用子晶向上拉引,工人先把多晶硅放进石英锅里,(厂里为了减少成本,也会用一些洗好的电池片,碎硅片一起融)关上炉子加热,石英锅的融点1700度,硅的融点才1410度左右,融化了硅以后石英锅慢慢转起来,子晶从上面下降,点到锅的中心液面点,也慢慢反方向转,锅下面同时在电加热,液面上加冷,子晶点到液面上就会出现一个光点,慢慢旋转,向上拉引,放肩,转肩,正常拉棒,收尾,一天半左右,一个单晶棒就出来了。
4、切方
单晶棒有了就切方,单晶棒一般是做6英寸的,P型,电阻率0.5-6欧姆(一英寸等于2.4厘米左右)切掉棒子四边,做成有倒角的正方形,在切片,0.22毫米一片吧。
单晶硅片生产技术
单晶硅片是半导体器件制造过程中必不可少的材料。以下是单晶硅片生产工艺的基本步骤:
1. 制备硅单质:将二氧化硅和碳在高温高压条件下反应,制得硅单质。
2. 生长单晶硅:将硅单质加热到高温(约1420°C),然后将其注入单晶硅炉中。在熔融的硅中加入掺杂剂,形成所需的电学特性,然后将炉子中的硅晶体慢慢降温,使其逐渐凝固形成单晶硅。
3. 切割单晶硅:将单晶硅从炉子中取出,然后用专用的切割工具将其切成薄片。
4. 抛光单晶硅:对切割好的单晶硅进行抛光,以去除表面缺陷和不纯物质。
5. 清洗单晶硅:对抛光好的单晶硅进行清洗,以去除表面的污垢和残留的化学物质。
6. 检验单晶硅:对清洗好的单晶硅进行严格的质量检验,以确保其符合制造要求。
以上是单晶硅片生产技术的基本步骤,具体的生产工艺可能会因不同的生产要求而有所不同。
单晶硅片生产技术
工艺流程:
直拉法加工工艺:加料→熔化→缩颈生长→放肩生长→等径生长→尾部生长,长完的晶棒被升至上炉室冷却一段时间后取出,即完成一次生长周期。
悬浮区熔法加工工艺:先从上、下两轴用夹具精确地垂直固定棒状多晶锭。用电子轰击、高频感应或光学聚焦法将一段区域熔化,使液体靠表面张力支持而不坠落。
移动样品或加热器使熔区移动。这种方法不用坩埚,能避免坩埚污染,因而可以制备很纯的单晶,也可采用此法进行区熔
单晶硅片生产技术
1 是一种成本高、技术难度较大的制备材料的方法。2 原因在于单晶硅片生产涉及到高温、高压和高度纯净的要求,需要使用到昂贵的设备和材料,同时制备工艺复杂,工人需要经过专业培训和技能提升,从而增加了生产成本和难度。3 随着科技的发展,已经逐渐成熟,在太阳能电池板、半导体器件等领域有着广泛的应用前景。未来可能会通过新的技术创新来降低制备成本和提高制备效率。